| 1 | 扫描型显微及加工系统采购项目 | 该系统用于材料的表征测试和微纳加工工作。可进行材料表面形貌、晶体结构和元素表征，薄膜样品加工，表面图案化加工。包括：1套场发射扫描型电子显微镜，1套聚焦离子束/电子束系统。 | 1,571 | 2026-12 | 否 | 否 | 关于武进南大未来技术创新研究院2026年11月（第1批）政府采购意向公告的价格调整说明：最终预算价格以本版公告为准。 |
| 2 | 扫描电子显微镜及电子束曝光系统采购项目 | 用于表面图案化掩模的快速加工，可对加工情况进行原位扫描电子显微观察。包括：1套扫描电子显微镜及电子束曝光系统。 | 218 | 2026-12 | 否 | 否 | 关于武进南大未来技术创新研究院2026年11月（第1批）政府采购意向公告的价格调整说明：最终预算价格以本版公告为准。 |
| 3 | 激光直写系统采购项目 | 激光直写系统采购项目 | 710 | 2026-12 | 否 | 否 | 关于武进南大未来技术创新研究院2026年11月（第1批）政府采购意向公告的价格调整说明：最终预算价格以本版公告为准。 |
| 4 | 武进南大未来技术创新研究院椭偏仪采购项目 | 主要用途为测量薄膜的厚度及光学常数，也可以测量体材料的光学常数，相位延迟等。探测低达百分之一纳米的膜厚变化，材料的不同组分、掺杂、工艺不稳定导致的孔洞、各向异性倾向、折射率梯度分布等信息。包括：1套椭偏仪。 | 222 | 2026-12 | 否 | 否 | 关于武进南大未来技术创新研究院2026年11月（第1批）政府采购意向公告的价格调整说明：最终预算价格以本版公告为准。 |
| 5 | 光学性能表征系统采购项目 | 用于测量元件的光学参数。包括：1套UV紫外可见近红外分光光度计；3套偏振测量仪；3套光束质量分析仪； 4套任意波形发生器。 | 113 | 2026-12 | 否 | 否 | 关于武进南大未来技术创新研究院2026年11月（第1批）政府采购意向公告的价格调整说明：最终预算价格以本版公告为准。 |
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